纳米、亚微米的超窄脉宽微细电化学加工

• 作者: 张朝阳 毛卫平 陈飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电化学加工 超窄脉冲 试验系统 极间间隙 加工精度
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 684-690
• 页数: 7页
• 分类号: TG662
• 字数: 4792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.11.009

摘要

通过分析超窄脉冲实现纳米、亚微米级精度微细电解加工的机理和特点,说明脉冲电源的脉冲宽度减小至纳秒时,可将提高电解加工精度的方法综合运用,如小间隙电解加工、低浓度电解液、加工间隙的实时检测和调整控制等,从而增强电化学反应的定域蚀除能力,减小两电极的极间间隙,显著提高加工精度.构建了微细电化学加工系统,包括微细加工机床、纳秒脉冲电源、电解液循环系统、运动控制部分和加工检测部分,进行了微细加工试验.这种方法在微细成形加工、微小孔加工等方面已经取得了很好的应用效果,与其他特种微细加工技术相比具有一定的优势,在微米、纳米制造领域有着很大的发展潜能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张朝阳	江苏大学机械工程学院	16	559	13.0	16.0
3	毛卫平	江苏大学机械工程学院	20	164	7.0	12.0
6	陈飞	江苏大学机械工程学院	23	87	5.0	8.0