大曲率光学零件面形的空间载频外差干涉术检测

• 作者: 刘光灿 刘贱平 梁丽萍 金世龙
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 大曲率球面面形检测 空间载频外差干涉术 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 110-113
• 页数: 4页
• 分类号: O436
• 字数: 3018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2276.2009.01.025

摘要

光学零件表面面形检测的结果直接影响光学零件的质量,介绍了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法,通过对干涉图进行预处理、FFT提取相位、解包裹,并采用Zernike多项式拟合,得到被检球面相对平面的面形函数,与指定的球面相减后,再一次进行Zernike多项式拟合,得到了被检面相对于指定球面的面形函数,由此计算出被检球面的面形误差PV值、RMS值,N与ΔN,并模拟出了用球面干涉仪检测时的干涉条纹.该方法克服了接触检测的缺点,精度高,PV值的标准差σ优于λ/100,RMS值的标准差σ优于λ/700,而且可通过软件设定检测任意大曲率光学零件,为大曲率半径光学零件的检测提供了一种适用的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘光灿	长沙学院电子与通信工程系	45	247	9.0	13.0
2	金世龙	国防科学技术大学光电科学与工程学院	10	59	5.0	7.0
3	刘贱平	国防科学技术大学光电科学与工程学院	7	14	2.0	3.0
4	梁丽萍	国防科学技术大学光电科学与工程学院	2	7	1.0	2.0