金刚石飞切加工微结构表面的工艺参数优化

• 作者: 杨辉 王义龙 赵清亮 郭兵
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 微结构表面 飞切加工 金刚石刀具 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2512-2519
• 页数: 8页
• 分类号: TG506.6
• 字数: 2576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.10.025

摘要

为了获得具有纳米级表面质量的微结构表面,利用‘Nanosys-300'超精密复合加工系统实现了微结构表面的三维金刚石飞切加工,研究了主轴转速、进给量以及背吃刀量对微结构表面粗糙度的影响.理论分析表明,金刚石飞切加工微结构时理论表面粗糙度沿法线方向并没有变化,而沿进给方向存在着周期变化.减小进给量和金刚石飞刀前端角或增大切削半径可以降低理论粗糙度值.实验分析表明,表面粗糙度值Ra随进给量的增加而增加,主轴转速对Ra影响不大.切削聚碳酸酯(PC)时,在5～40 μm Ra随背吃刀量的增加而增加;而切削铝合金(LY12)时,在2～10 μm Ra随背吃刀量的增加而减小.实验中Ra最好可达38 nm(LY12)和43 nm(PC).最后,利用优化工艺参数加工出了微沟槽阵列和微金字塔矩阵微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵清亮	哈尔滨工业大学精密工程研究所	74	849	16.0	24.0
2	王义龙	哈尔滨工业大学精密工程研究所	4	69	3.0	4.0
3	郭兵	哈尔滨工业大学精密工程研究所	18	207	9.0	14.0
4	杨辉		6	73	3.0	6.0