激光二坐标测量装置显微视觉关键技术的研究

• 作者: 叶孝佑 孙双花 薛梓 高宏堂
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 激光二坐标测量装置 显微视觉 二维线纹标准器 方向链码 线间距
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.010

摘要

为满足二维线纹标准器高精度检测需求,研究了激光二坐标测量装置的显微视觉系统关键技术.分析了激光二坐标测最装置的工作原理和显微视觉硬件系统的构成,提出了一种基于方向链码的边缘特征点跟踪提取算法,实现了图像边缘快速精确提取,建立了两坐标系间的修正模型,提高了测量精度.实验验证二维线纹标准器线间距和线宽测量重复性的2倍标准差小于10 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	薛梓		32	62	5.0	6.0
3	高宏堂		21	84	6.0	8.0
4	孙双花		25	101	6.0	9.0