微几何量评定总则研究

• 作者: 丁红宇 刘伟 张苹
• 来源期刊: 机械工业标准化与质量
• 学科: 经济
• 关键词: MEMS 微几何量 评定
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 研讨园地
• 页码范围: 47-48
• 页数: 2页
• 分类号: F4
• 字数: 2182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-6905.2009.11.014

摘要

本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分:评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论.