计量型原子力显微镜环境温度的测控

• 作者: 卢明臻 崔建军 施玉书 李洪波 杜华 皮磊 邵宏伟 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 温度测量 原子力显微镜 纳米测量机 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术
• 页码范围: 123-127
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2009.z1.032

摘要

在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源.为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量机为例,首先通过设计高精度多点测温系统进行精密的温度测量,分析估计在扫描测量纳米结构过程中温度变化对其测量结果的影响.其次对纳米测昔中温度测量的相关技术问题进行了研究,以保证纳米表征和检测在纳米尺度及其量值上的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李洪波	北京理工大学信息技术学院	7	24	3.0	4.0
2	高思田		93	567	11.0	19.0
3	崔建军		33	122	6.0	8.0
4	邵宏伟		20	99	5.0	9.0
5	卢明臻		16	97	6.0	8.0
6	杜华		33	201	8.0	12.0
7	施玉书		35	121	5.0	8.0
8	皮磊		4	6	1.0	2.0