30.4nm Cr/Al/Cr自支撑滤光片的研制

• 作者: 付联效 伍和云 吕刚 吴永刚 焦宏飞 王振华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 滤光膜 质量吸收系数 自支撑 透过率 缺陷
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 235-239
• 页数: 5页
• 分类号: O434.2
• 字数: 2032字
• 语种: 中文

摘要

依据材料的质量吸收系数和波长的关系,选择Cr和Al设计和制备30.4 nm自支撑滤光片.在制备时以NaCl为脱膜剂,以热蒸发方式蒸镀Al,以电子束蒸发方式蒸镀Cr,制备了30.4 nm的Cr/Al/Cr自支撑滤光膜,并对滤光片的表面缺陷进行了分析.通过显微镜观察,滤光膜均匀纯净,无明显针孔.Cr/Al/Cr自支撑滤光片在合肥国家间步辐射实验室进行了测量,Cr/Al/Cr厚度为5 nm/500 nm/5 nm和12.5 nm/500nm/12.5 nm的滤光片在30.4 nm波长处的透过率分别为7.6%和4.6%,透过率曲线和理论计算基本一致.用紫外分光光度计测量得滤光片在200～800 nm波长范围的透过率小于0.02%,满足使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴永刚	同济大学精密光学工程技术研究所	53	242	9.0	13.0
2	付联效	同济大学精密光学工程技术研究所	11	55	5.0	7.0
3	王振华	同济大学精密光学工程技术研究所	25	79	5.0	8.0
4	焦宏飞	同济大学精密光学工程技术研究所	20	53	4.0	6.0
5	吕刚	同济大学精密光学工程技术研究所	5	11	3.0	3.0
6	伍和云	同济大学精密光学工程技术研究所	5	11	3.0	3.0