微型光热驱动机构及其显微运动测量研究

• 作者: 刘超 张冬仙 章海军 陈超
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型光热驱动机构 显微运动测量 微驱动 MEMS
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 937-940
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.4
• 语种: 中文

摘要

提出微型光热驱动机构(PTMA)及其显微运动测量的新方法,设计与微加工制作一种长度为1.5mm的非对称型PTMA,并开展光热驱动的实验研究.利用该测量方法,在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下,对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析,测得最大振幅为10.3μm,理想响应频率范围为0～7Hz,并绘制出其运动轨迹.研究结果表明,这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅(位移)、不同频率(速度)的微运动,为机电系统提供了一种新的微驱动方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙		39	321	10.0	16.0
2	章海军		53	454	12.0	18.0
3	刘超		66	663	12.0	24.0
4	陈超		63	302	9.0	15.0