基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法

• 作者: 丁永坤 伊圣振 王占山 王新 穆宝忠 缪文勇 董建军 黄圣铃
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: KB显微镜 辅助光学系统 瞄准 景深
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 841-845
• 页数: 5页
• 分类号: O434.1
• 字数: 2045字
• 语种: 中文

摘要

研究了利用辅助可见光系统精确瞄准KB显微镜物点的方法.设计了工作能点8 keV的周期多层膜KB显微镜系统,通过光线追迹和X射线成像实验,得到5 μm空间分辨率所对应的视场和景深,进而计算出诊断实验对应的指向和景深要求.基于KB系统的物像关系和精度要求,设计了辅助的可见光成像系统.实现了可见光系统与X射线KB系统间的等效瞄准,利用耦合好的系统进行了瞄准和x射线成像实验.实验结果表明:辅助光路可以实现士20 μm的垂轴面和士300 μm的轴向定位精度,满足KB显微镜的瞄准要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁永坤	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	181	7.0	10.0
2	缪文勇	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	18	65	5.0	6.0
3	王占山	同济大学精密光学工程技术研究所	92	640	14.0	19.0
4	穆宝忠	同济大学精密光学工程技术研究所	20	64	5.0	7.0
5	王新	同济大学精密光学工程技术研究所	16	21	3.0	4.0
6	伊圣振	同济大学精密光学工程技术研究所	7	47	4.0	6.0
7	黄圣铃	同济大学精密光学工程技术研究所	3	27	2.0	3.0