超声键合变频式超声波发生器的设计

• 作者: 严勇文 何将三 杨岳峰 隆志力
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 变频式 超声键合 直接数字频率合成(DDS) 锁相环(PLL)
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 224-226
• 页数: 3页
• 分类号: TN911.8
• 字数: 2381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.02.026

摘要

用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备的主要装置,其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态,多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向.传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能,该文构建了一种变频式超声波发生器,可动态适应不同特性的换能器,具有通用、应用面广等特性.变频式超声波发生器基于嵌入式系统,采用快捷准确的直接数字频率合成(DDS)及锁相环(PLL)反馈方案,实现自动查找换能器各谐振频率以及频率自动跟踪功能.实践证明,变频式超声波发生器可以驱动各种不同谐振频率的引线键合超声波换能器,并达到换能系统工作时的快速锁相、准确锁频要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何将三	中南大学机电工程学院	40	156	7.0	11.0
2	隆志力	中南大学机电工程学院	34	285	10.0	16.0
3	严勇文	中南大学机电工程学院	5	21	3.0	4.0
4	杨岳峰	中南大学机电工程学院	3	19	3.0	3.0