光学加工中高频误差对环围能量比的影响

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学主镜 中频误差 高频误差 环围能量比 梯度均方根
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2705-2711
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 3905字
• 语种: 中文

摘要

以大型光学系统主镜为研究对象,基于经典标量衍射理论分析了中高频误差对环围能量比(FEE)的影响.根据光学镜面面形误差近似为高斯平稳随机过程以及全频段面形误差对光强分布和FEE的影响,建立了光学镜面中高频误差梯度均方根(GRMS)与FEE之间的数学关系模型,进行了仿真分析并利用实际面形误差数据进行了验证.研究表明,FEE随着中高频误差GRMS的增加近似呈指数规律衰减,同时各频段误差将无误差时对应的光强分布边缘部分能量转移到光强分布的中心以及更宽范围,并且随着中高频误差的增大,能量转移曲线出现反复振荡.结果表明,在特定光学口径下,中高频误差GRMS值分别＜12 nm/mm以及30 nm/mm时,中高频误差对FEE的影响均＜5%,可用于控制中高频误差对FEE的影响,为中高频误差的进一步修形提供理论支持.