光学加工中高频误差对散射损失比的影响

• 作者: 吴冬良 戴一帆 王贵林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学主镜 中频误差 高频误差 散射损失比 误差均方根
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2365-2370
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 3738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.10.003

摘要

以光学系统主镜为研究对象,分析了中高频误差对散射损失比的影响.根据光学镜面面形误差近似高斯平稳随机过程特征,结合Harvey-Shack散射理论和统计光学理论,建立了光学镜面中高频误差RMS与散射损失比(RSL)之间的数学关系模型,并利用实际加工数据进行了仿真验证.研究表明,RSL随着中高频误差RMS的增加近似呈指数规律增加,同时在聚焦范围内,理论分析与仿真计算结果非常吻合.在中频误差和高频误差RMS值分别＜λ/63时,对RSL的影响均＜1%,结果可为中高频误差的修正提供理论支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	王贵林	国防科技大学机电工程与自动化学院	33	562	12.0	23.0
3	吴冬良	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	36	3.0	4.0