光学元件中高频PSD2误差的实验研究

• 作者: 廖德锋 袁志刚 谢瑞清 钟波 陈贤华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: PSD2误差 小工具数控抛光 全口径抛光 沥青盘 聚氨酯垫 金刚石修整
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 3325-3328
• 页数: 4页
• 分类号: TG701
• 字数: 2651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3325

摘要

光学元件的中高频误差一般采用功率谱密度(PSD)表示,其划分为PSD1和PSD2两个频段.针对目前国内外研究较少的PSD2频段误差,分析和实验研究了其潜在的影响因素.采用沥青和聚氨酯盘抛光熔石英元件的实验结果显示:小工具数控相比传统全口径抛光并未增大PSD2误差,而抛光盘材质对PSD2误差具有决定性的影响.沥青盘在抑制PSD2误差方向具有较好的优越性,工件表面的PSD2指标能够满足要求,而聚氨酯抛光元件表面的PSD2误差则较高.针对这一问题,提出采用固结金刚石丸片修整聚氨酯垫,通过细化金刚石颗粒获得了合格的PSD2指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟波		7	40	5.0	6.0
2	陈贤华		11	72	6.0	8.0
3	谢瑞清		7	35	4.0	5.0
4	袁志刚		9	57	6.0	7.0
5	廖德锋		3	14	2.0	3.0