交叉效应对光栅光调制器阵列的影响

• 作者: 张智海 温志渝 金珠 黄尚廉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光栅光调制器 交叉效应 无源矩阵驱动
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1790-1797
• 页数: 8页
• 分类号: TN256|TN761
• 字数: 4503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.08.002

摘要

为了讨论交叉效应对无源矩阵驱动的光栅光调制器的影响,建立了无源矩阵驱动光栅光调制器的电学模型.介绍了光栅光调制器的工作原理和驱动电压.利用基尔霍夫的电流定理和电压定理,对该无源矩阵驱动阵列的电学模型进行化简分析,得到了交叉效应中半选点像素、非选点像素与全选点像素之间的电压关系.实验测得器件的驱动电压,并对加工的阵列器件进行交叉效应验证,得到这3种像素的±1级衍射光强与全选点像素驱动电压的关系.最后,提出两种抑制交叉效应的方法.实验结果显示:光栅光调制器的工作电压为8 V,吸合电压约8.5 V时;对于加工的16×16阵列,半选点像素电压约为全选点像素电压的1/2,且远大于非选点像素电压,结论与交叉效应理论分析一致.结果表明:交叉效应会降低阵列的光学对比度和光利用率,而器件较低的驱动电压有利于与有源矩阵电路实现单片集成,消除器件的交叉效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄尚廉	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	164	3610	34.0	51.0
2	温志渝	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	143	1259	18.0	26.0
3	张智海	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	38	198	9.0	12.0
4	金珠	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	13	19	3.0	3.0