浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造

• 作者: 张俊峰 惠春 李以贵
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波驱动器 微机电系统 浮动电极型单向换能器
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1300-1305
• 页数: 6页
• 分类号: TB51|TM384
• 字数: 799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.017

摘要

考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在LiNbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器.为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结构,即浮动电极型单向换能器,然后利用ANSYS软件,对声表面波换能器进行了优化设计和分析,制作出了孔径尺寸为5 mm,电极厚度为0.8 μm,指宽为6.7 μm,周期为80 μm的浮动电极型单向换能器.该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率(接近50 MHz)和更有效的方向可控性,从而有助于微光学控制系统的进一步微型化和可控化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠春	上海交通大学生命科学技术研究院	25	181	9.0	13.0
2	张俊峰		1	1	1.0	1.0
3	李以贵		2	9	1.0	2.0