基于COMSOL的声表面波器件仿真

• 作者: 付大丰 张亦居 王萌阳 阮鹏 陈智军
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 有限元 叉指换能器 特征频率 薄膜 液体
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 信号检测、算法与仿真
• 页码范围: 422-428
• 分类号: TN65
• 字数: 3078字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2012.05.011

摘要

声表面波器件在通信、传感、射频识别等领域有着广泛的应用.以有限元方法为基础,利用有限元软件COMSOL对声表面波器件进行了仿真.从器件的模型建立入手,按由浅入深的顺序对无电极压电基片、压电基片表面沉积叉指换能器、叉指换能器表面溅射薄膜、薄膜上负载液体的4种结构进行了仿真分析.仿真研究表明:叉指换能器的电极效应会产生正、反特征频率,并且两种频率都随着叉指电极的敷金比与高度增加而向低频偏移;薄膜厚度的增加同样会导致器件频率向低频变化;当器件负载液体用于液体密度检测时,可通过器件频率变化对液体密度的灵敏程度来对薄膜厚度进行优化.其研究结果可以为声表面波器件的设计制作提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈智军	南京航空航天大学自动化学院	42	179	7.0	11.0
3	付大丰	南京航空航天大学自动化学院	13	153	7.0	12.0
6	阮鹏	南京航空航天大学自动化学院	8	122	6.0	8.0
7	王萌阳	南京航空航天大学自动化学院	5	44	3.0	5.0
8	张亦居	南京航空航天大学自动化学院	3	37	2.0	3.0