一种新结构的双向直线运动驻波型超声波电机

• 作者: 戴吉岩 王波 郭吉丰 魏燕定
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双向运动 驻波型 直线超声波电机 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2009,（24）
• 所属期刊栏目: 电机与电器
• 页码范围: 49-55
• 页数: 7页
• 分类号: TM356|TM383
• 语种: 中文

摘要

研究了一种新结构的双向运动直线超声波电机.该种直线超声波电机由一块在两端部开槽、形成2个薄弱环节的板构成.通过有限元分析可知,调整薄弱环节和两端部的尺寸,在板中间可以形成2个波长几乎相等的驻波模态,其中一个是正弦振型,一个是余弦振型;通过粘贴8片PZT4压电陶瓷在板的中部来激励这2种振动模态.依照该原理,设计制造并研究了长60 mm、宽10 mm的新型双向直线运动超声波电机.该直线超声波电机在一个方向上最大速度220 mm/s,最大出力1.764 N,在另一个方向上最大速度270 mm/s,最大出力1.96 N,且达到了0.2 μm以下的分辨率.