微机械振动环陀螺

• 作者: 王军波 陈德勇 陈李
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械陀螺 振动环陀螺 闭环控制
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1344-1349
• 页数: 6页
• 分类号: U666.12
• 字数: 838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.025

摘要

为了减小振动环驱动模态和检测模态的频率差从而提高陀螺性能,提出了一种采用电磁驱动、电磁检测的全对称振动环陀螺结构.采用MEMS体硅工艺完成该微机械振动环陀螺的加工,其结构在保持镜像对称的同时,还保持了中心对称,因此整个结构高度对称,有利于减小模态频率差.为有效跟踪陀螺驱动模态的谐振频率并稳定驱动模态的幅值,设计了闭环驱动控制电路.该电路由低噪声前置放大器、相位调整环节以及自动增益放大器(VGA)组成.测试结果表明,该陀螺两个模态频率差为0.27 Hz,实现了频率较好的匹配.在±200 °/s,测得陀螺灵敏度为8.9 mV/(°/s),分辨力为0.05 °/s,非线性度为0.23%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德勇		6	44	5.0	6.0
2	王军波		6	50	4.0	6.0
3	陈李		2	18	2.0	2.0