单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究

• 作者: 王元山 王寿荣 许宜申
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械振动陀螺仪 三轴陀螺仪 体硅溶解薄片法
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 1034-1038
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 3206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2006.10.010

摘要

设计、制造了一种单片集成三轴硅微机械振动陀螺仪.该器件由两个结构完全相同的单轴水平陀螺仪和一个单轴垂直陀螺仪组合而成,三只单轴陀螺仪均采用静电驱动、电容检测的结构形式.采用体硅溶解薄片法制造了该三轴陀螺仪芯片,并对其在空气中的驱动性能进行了初步测试.测试结果表明,该单片三轴硅微机械振动陀螺仪驱动模态的实际谐振频率与理论值之间的最大误差小于5%,满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程系	94	1158	19.0	28.0
2	许宜申	东南大学仪器科学与工程系	11	162	8.0	11.0
3	王元山	东南大学仪器科学与工程系	5	22	3.0	4.0