静电驱动微机械梳状陀螺仪中典型结构的可靠性研究

• 作者: 刘凤丽 郝永平 高连兴
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 可靠性 微机械陀螺仪 典型结构 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2007.01.018

摘要

以经过结构参数优化后的微机械陀螺仪为研究对象,针对其梳齿驱动器、悬臂梁和平行板电容器这三种典型结构,分析了影响其结构可靠性的因素,验证了梳齿驱动器结构参数满足了稳定性要求;得到了感测平行板电容器的临界电压,讨论了平行板的弯曲变形的影响;为保证悬臂梁的可靠性,限定了陀螺仪的工作量程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高连兴	沈阳农业大学工程学院	148	1901	26.0	34.0