微尘粒子对微机械陀螺仪的可靠性影响仿真

• 作者: 刘凤丽 郝永平 高连兴
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 仿真 可靠性 微机械陀螺仪 微尘粒子
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 15-17,24
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2008.01.004

摘要

借助CoventorWare软件,建立在微机械陀螺仪中质量块与底部电极间附有微尘的模型.在网格化后得到的有限元模型基础上,进行模态分析,得到了微尘对驱动和检测模态谐振频率的影响仿真.在载荷承受分析里,微尘使得微机械陀螺仪的临界载荷和载荷承受范围缩小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高连兴	沈阳农业大学工程学院	148	1901	26.0	34.0