基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 瞬态高温 MEMS热电堆传感器 静态与动态标定 高温测试系统 红外衰减片
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2178字
• 语种: 中文

摘要

为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围,实现高温测量,根据MEMS热电堆传感器的原理,设计完成了A2TPMI334型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置,通过试验得到标定结果;同时,提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方案和实现手段,并对其关键部分--红外衰减片性能进行了分析和讨论.