多波段激光滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 孙钰林 李美萱 贺才美
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 激光滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积 光学特性
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1550-1554
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093606.1550

摘要

针对光学仪器对多光谱光轴测试的特殊要求,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过对材料的光学特性、膜系设汁和监控厚度误差的分析,优化工艺参数,在多光谱ZnS基底上,成功镀制多波段激光滤光膜,实现了多波段光谱的分束.所镀膜层在30°角入射条件下,可见400～700 nm波长范围内平均透射率高于90%,1064 nm和1540 nm波长处的透射率都低于5%,在红外波长10.6μm透射率高于92%,并且解决了膜层牢固性问题,能够承受激光光源的照射和恶劣的环境测试,完全满足光学仪器的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	孙钰林	长春理工大学光电工程学院	2	32	2.0	2.0
3	贺才美	长春理工大学光电工程学院	5	72	4.0	5.0
4	李美萱	长春理工大学光电工程学院	22	61	4.0	7.0