高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法

• 作者: 康岩辉 张恒 黄杨
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 激光平面干涉仪 菲索 误差分析
• 年，卷（期）: 2010,（z2）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 124-127
• 分类号: TB921
• 字数: 2539字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.z2.29

摘要

叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理.依据ISO发布的测量不确定度表示指南,对Fizeau型高精度移相激光平面干涉测量系统的误差进行了系统分析,给出了高精度激光平面干涉仪的各项误差及总误差,其合成标准不确定度为2.63nm.该研究分析方法可适用于同类仪器的测量不确定度评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张恒		12	33	4.0	5.0
2	康岩辉		11	27	4.0	4.0
3	黄杨		6	35	3.0	5.0