采用相移干涉原理平面度测量系统误差分析与校正

• 作者: 何向同 张晋弘 李保庆 褚家如 许晓慧 马剑强 黄文浩
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 平面度 误差分析 误差校正 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表/检测/监控
• 页码范围: 100-103
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 2214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2010.03.030

摘要

相移干涉法具有非接触、快速和高精度等优点,采用实验室组建的相移干涉系统进行平面度测量时,会产生280nm左右的测量误差.通过对系统误差的分析,发现由扩束器产生的波像差是测量误差的主要来源.为了校正该测量误差,采用Zernike多项式拟合波前像差,然后在平面度测量时扣除该数值拟合结果.实验结果表明,这种误差校正方法可以使λ/4平面反射镜的测量结果从误差校正前的320nm左右减小到120nm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保庆	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	137	2920	33.0	43.0
2	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
3	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
4	马剑强	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	8	55	4.0	7.0
5	许晓慧		4	25	3.0	4.0
6	张晋弘	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	7	25	3.0	4.0
7	何向同	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	4	1.0	1.0