丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿

• 作者: 于海利 滕丽华 齐向东
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅刻划机 丝杠 双频激光干涉仪 阿贝误差
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 279-284
• 分类号: TG85|TH741.3
• 字数: 1652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.03.012

摘要

提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度.另外该方法还通过调整参考镜角锥棱镜消除了测量过程中丝杠轴向窜动引起的测量误差.实验结果表明,采用提出的方法在300 mm的丝杠行程内修正的最大阿贝误差为1.39μm,补偿后最大残差仅为0.48 μm,有效地提高了丝杠测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0
2	于海利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	92	7.0	9.0
6	滕丽华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	14	1.0	1.0