基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究

• 作者: 包宗明 周嘉 姚翔 纪新明 肖功利 黄宜平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面等离子体共振效应 二维金属亚波长孔阵列结构 SU-8膜的厚度 透射增强特性
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 1550-1554
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.11.007

摘要

以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源.探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响.设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器.同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟.实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360 nn),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖功利	桂林电子科技大学信息与通信学院	26	22	3.0	4.0