纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量

• 作者: 程方 范光照 费业泰
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米三坐标测量机 接触式测头 单方向重复性 预行程 二次触发
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 107-113
• 页数: 7页
• 分类号: TP216
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.02.003

摘要

提出了一种用于纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量的方法.确定了预行程需侦测接触点和触发点两个关键点.为了对该高灵敏度的测头进行标定,整个实验系统需要3个基本条件:纳米级驱动器,高分辨率传感器和多级速度控制算法.本研究使用一种超声波马达HR4在同一平台上实现大行程粗略驱动以及微位移调整.位移测量使用光栅传感器LDGI(linear diffraction grating interferometer),其分辨率可达1 nm.在测试过程中采用高速逼近和低速触发,使用"双触发"方式获得触发点位置.接触点位置的侦测使用开关电路.触发信号和位移信号由同一块数据采集卡同步采集.实验表明,使用该方法测量预行程,单方向重复性在±5 nm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0
2	程方	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	63	4.0	4.0