新型SINP硅蓝紫光电池的研究

• 作者: 于征汕 何波 周呈悦 张楠生 徐静 李凤 殷宴庭 沈成 沈玲 赵磊 马忠权
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 关键词: ITO薄膜 SINP光电池 I-V特性 光谱响应
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 407-416
• 页数: 10页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1007/sl 1431-009-0388-6

摘要

本研究中,采用以下主要步骤:先在p-型Si的绒面上,进行磷扩散形成同质p-n结,再低温热氧化生长超薄SiO2层,然后利用射频磁控溅射沉积ITO减反射/收集电极膜,成功制备了一种新型ITO/SiO2/np晶硅SINP结构蓝紫光电池.通过X-光衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见光透射谱(UV-VIS),以及霍尔效应(Hall effect)测量方法,表征了高质量ITO薄膜的微结构、光学与电学特性.并重点对SINP结构光电池的光谱响应和I-V特性,进行了详细地计算和分析.结果表明,具有蓝紫光以及其它可见光波段的光谱响应和光电转换的增强效果,是该器件的主要特征.其较高的短路电流密度,适合于发展成为新型结构的硅基太阳能电池.