四氯化硅的应用现状研究

• 作者: 侯清麟 吴明明 王吉清 谈瑛
• 来源期刊: 湖南工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 二氧化硅 氢化 等离子体法 多晶硅
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 18-22
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 5046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9833.2010.06.005

摘要

综述了四氯化硅的主要处理方法和应用研究进展.详细介绍了四氯化硅在制备二氧化硅、多晶硅、三氯硅烷及其他硅烷产品方面的应用及其制备原理,并对各制备工艺技术进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯清麟	湖南工业大学包装新材料与技术重点实验室	99	469	12.0	17.0
2	王吉清	湖南工业大学绿色包装与生物纳米技术应用省重点实验室	10	96	5.0	9.0
3	谈瑛	湖南工业大学包装新材料与技术重点实验室	4	65	4.0	4.0
4	吴明明	湖南工业大学绿色包装与生物纳米技术应用省重点实验室	5	66	4.0	5.0