硅基微磁通门非晶Fe96Nb4铁芯薄膜的研究

• 作者: 刘诗斌 张程煜 梁晋涛
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: Fe96Nb4铁芯薄膜 软磁 微磁通门 双铁芯磁探头
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 871-873
• 分类号: TG132.2
• 字数: 2002字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验.结果表明:随制备温度的升高,薄膜的缺陷明显减小,软磁性能显著改善.基片温度为630 K时制作的硅基Fe96Nb4铁芯薄膜的性能适合用于微磁通门铁芯材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘诗斌		84	743	15.0	22.0
2	梁晋涛		13	50	4.0	6.0
4	张程煜		38	230	9.0	13.0