薄膜样品X射线能量色散谱仪测试方法研究

• 作者: 张朝霞 汪丽娜 蔡英
• 来源期刊: 浙江理工大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 薄膜 能谱分析 加速电压 采集率
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 纺织与材料
• 页码范围: 540-542
• 分类号: O657.62
• 字数: 1875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3851.2010.04.006

摘要

利用能量色散谱仪(EDS)对铜基材镍磷薄膜样品进行成分分析,研究扫描电镜(SEM)不同加速电压和能谱采集率对薄膜样品所含元素定量结果的影响.结果表明:加速电压影响薄膜样品中各元素绝对定量结果,并对膜层中P、Ni元素的质量比产生一定的影响;但在相同的加速电压条件下,能谱采集率的高低对样品中各元素绝对定量结果以及膜层中P、Ni元素的质量比影响较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪丽娜	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	10	52	4.0	7.0
2	蔡英	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	16	112	6.0	10.0
3	张朝霞	浙江理工大学先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室	6	8	2.0	2.0