石英振梁式加速度计谐振器的结构设计与仿真

• 作者: 廖波勇 张沛勇 李建
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 工学
• 关键词: 石英谐振器 模态分析 力频特性 压电分析
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 58-61
• 分类号: TP391.9|TP316.2
• 字数: 2378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2010.04.013

摘要

石英谐振器是石英振梁式加速度计的关键部件,其结构设计的好坏直接影响石英振梁加速度计性能的好坏.本文从切型的选择、电极的设置等方面阐述了石英谐振器结构设计的方法,并利用ANSYS有限元软件对石英谐振器结构的模态、力频特性和压电效应进行了仿真和分析,验证了理论模型的正确性,同时为设计不同用途的石英振梁式加速度计提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建		4	4	1.0	2.0
2	廖波勇		4	16	3.0	4.0
3	张沛勇		3	9	2.0	3.0