激光干涉仪测量直线度误差因素分析

• 作者: 孙会庆 贾敏强 赵东升 高冉
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度误差 激光干涉仪 斜率误差
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 32-35
• 分类号: TH74
• 字数: 1745字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2010.03.010

摘要

介绍了激光干涉仪进行直线度误差测量的原理,并详细讨论了直线度误差测量中影响测量精度的若干因素,最后给出直线度误差测量实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾敏强		10	12	2.0	3.0
2	赵东升		10	12	2.0	3.0
3	孙会庆		3	5	1.0	2.0
4	高冉		7	14	2.0	3.0