超声引线键合过程的信号采集与分析系统

• 作者: 刘少华 王福亮
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 信号传感与采集 小波分析 键合质量监测 超声引线键合
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 2189-2194
• 分类号: TN911.6
• 字数: 3909字
• 语种: 中文

摘要

根据超声引线键合实验平台结构,设计PZT(压电陶瓷)驱动信号传感电路,搭建键合力传感系统,集成多普勒振动测试系统,获得键合过程中的换能器驱动电压、电流、劈刀振动和键合压力信号.采用PCI6110数据采集卡,开发基于LabView8.2的采集软件,实现上述4路信号的同步采集、显示、频谱分析和保存.采用小波时频分析方法对电流信号进行分解,发掘电流信号中与键合质量相关联的一些特征.研究结果表明:信号采集系统能高速、同步采集键合过程中的多路信号;电流信号基频的频率、幅值及变化趋势都在一定程度上反映了键合质量;当电流信号频偏离正常值太大、均值太小和变化趋势异常时都表明键合失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王福亮		2	9	2.0	2.0
2	刘少华		1	7	1.0	1.0