激活能测试装置设计及微晶硅薄膜激活能测试

• 作者: 卢景霄 张宇翔 王俊平 陈庆东
• 来源期刊: 山东大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶硅 激活能 测试装置
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 149-152
• 分类号: TN304.1+2
• 语种: 中文

摘要

为了分析微晶硅薄膜的本征特性,设计了激活能测试装置.测试装置包括测试平台、真空系统和加热控制系统.同时给出激活能计算方法,并对不同电压、不同取点个数对激活能测试的影响进行分析.分析结果表明,不同测试电压对激活能测试结果影响很小,不同取点个数计算的激活能差别也很小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢景霄	郑州大学材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
2	张宇翔	郑州大学材料物理教育部重点实验室	45	274	10.0	14.0
3	陈庆东	滨州学院物理与电子科学系	24	48	3.0	6.0
4	王俊平	滨州学院物理与电子科学系	23	51	3.0	6.0