高精度干涉检验移相算法对振动误差的免疫能力

• 作者: 刘艳 杨怀江 苏东奇 隋永新
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉术 振动误差 误差分析 移相算法
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 500-508
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.05.013

摘要

对移相干涉测量中影响移相稳定性,从而产生测量误差的小幅度机械振动进行了研究,建立了振动误差模型,仿真分析了Wyant84b三步算法、Hariharan87五步算法、七步算法和十三步算法4种不同移相算法对振动的免疫能力.模拟结果显示,十三步算法对振动的免疫能力最好,与已发表文献成果吻合,说明本文的模拟具有较高的可信度,在一定程度上能够对影响干涉仪精度的振动误差进行合理预测,并能够起到评价和筛选移相算法的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新		10	71	5.0	8.0
2	杨怀江		8	63	6.0	7.0