超低速运动装置设计分析

• 作者: 代峰燕 曹建树 纪文刚
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 超低速 单晶炉 提拉法 提拉装置 伺服控制
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 19-22
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0682.2010.04.006

摘要

单晶炉提拉装置是提拉法生长晶体的关键设备,由于激光晶体生长机理决定了其生长速度非常缓慢.提拉装置要求长期运行在超低速的状态下,针对运动系统的震动、晃动、摩擦、爬行等都会影响速度的稳定性,采用交流伺服技术对激光单晶炉的提拉装置进行了全新改造设计,并对其精度进行了综合分析.通过采用变增益的PID控制方法长期运行的实验数据表明,该装置运行精度高,稳定性好,适合生长大尺寸激光晶体,同时设计采用通用零件,满足大规模工业化生产的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹建树		71	649	14.0	22.0
2	纪文刚		55	213	8.0	12.0
3	代峰燕		30	285	9.0	16.0