膈膜式传感器微压电复合薄板的模态分析

• 作者: 李少康 王林艳
• 来源期刊: 西安工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电传感器 柔性隔膜 模态分析 MEMS
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 334-338
• 分类号: TP212
• 字数: 2872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9965.2010.04.007

摘要

为了分析柔性谐振膈膜式微传感器在设计中的微压电复合薄板模态问题,采用近似理论方法与有限元法分别对方形压电复合薄板的模态进行了分析.推导出压电层和支撑层的势能与动能表达式,给出利用瑞利法求解一阶频率的过程.借助微系统设计开发与仿真软件,依据器件加工工艺,建立了器件三维模型.使用软件的有限元分析功能,对其进行了网格划分和模态分析,给出了一阶和二阶模态振型及模态频率.通过对仿真结果的讨论,为传感器的设计提供了借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李少康	西安工业大学机电工程学院	23	72	5.0	8.0
2	王林艳	西安工业大学机电工程学院	13	40	4.0	5.0