压电式微传声器的设计与测量方法的匹配

• 作者: 丁国杰 于留波 赵湛 轩运动
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 匹配 前置放大 压电系数矩阵 电压强度分布 压电耦合分析
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 560-563,586
• 分类号: TP212.1|TH703
• 字数: 2493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.09.007

摘要

针对压电式微传声器的两种测量方法,研究了提高微传声器灵敏度的方法.对于电荷测量法,前置放大电路应采用并联负反馈的方式;对于电压测量法,前置放大电路应采用串联负反馈的方式;并且选用高输入阻抗的放大器作为前置放大器.根据理论推导不同材料在不同测量方法下的灵敏度,发现在电荷测量法下用PZT制备的微传声器与在电压测量法下用ZnO制备的微传声器的灵敏度都比较高.用ANSYS软件对四边固支ZnO压电式微传声器进行静力分析,发现薄膜上最大电压为7.89 mV,最小电压为-5.55 mV.根据薄膜上的应力分布,针对两种测量方法,优化设计了两种不同的新型微传声器结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于留波		1	2	1.0	1.0
5	赵湛		8	53	4.0	7.0
6	丁国杰		1	2	1.0	1.0
10	轩运动		1	2	1.0	1.0