侧孔式微型传声器设计及模拟

• 作者: 何云松 李格 李金华 袁宁一
• 来源期刊: 江苏工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微传声器 侧孔式结构 机械灵敏度 频率响应
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1|TM22.1
• 字数: 1351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2003.04.016

摘要

提出了一种新的微型传声器电容结构,即侧孔式微传声器.侧面开孔一方面降低了振膜的初始应力,提高振膜的机械灵敏度.另一方面,侧面开孔可以减小气流阻力,提高微传声器的频率宽度,同时避免了背孔结构可能带来的"软背极板"效应.使用有限元分析软件ANSYS和MATLAB软件对侧孔式微传声器的机械灵敏度和频率响应进行了理论模拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院信息科学系	33	277	9.0	15.0
2	袁宁一	江苏工业学院信息科学系	26	154	8.0	10.0
3	何云松		10	39	4.0	6.0
4	李格		6	26	4.0	5.0