电容式微传声器的制备研究新进展

• 作者: 刘忠立 宁瑾 赵慧
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微传声器 MEMS工艺
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1|TM22.1
• 字数: 3753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2002.01.002

摘要

本文对近几年来运用单片制备方法,采用硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述.通过分析和研究指出,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度,根据具体情况优化电极形状和尺寸,可以在很大程度上提高微传声器的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘忠立	中国科学院半导体研究所微电子中心	77	412	12.0	14.0
2	宁瑾	中国科学院半导体研究所微电子中心	13	44	4.0	6.0
3	赵慧	中国科学院半导体研究所微电子中心	13	86	5.0	9.0