基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真

• 作者: 安鹏 张承亮 苑伟政
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容式传声器 系统级 参数化组件
• 年，卷（期）: 2007,（13）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1518-1522
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3310字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2007.13.002

摘要

基于一维集中参数模型建立了微细加工电容式传声器振膜的动力学控制方程,并确定了方程中各参数的表达式.根据控制方程,在Saber平台上采用硬件描述语言开发了参数化组件.将该组件与传声器的检测电路模型结合起来实现了传声器的系统级建模,进行了时域、频域仿真,以及不同偏置电压下的输出电容、静电拉入电压的计算.将仿真结果与文献实测数据以及有限元分析结果相比较,验证了该组件的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政		70	351	10.0	14.0
2	安鹏		1	1	1.0	1.0
3	张承亮		1	1	1.0	1.0