钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
无线电电子学与电信技术期刊
\
半导体学报(英文版)期刊
\
用氧化多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
用氧化多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
作者:
刘忠立
刘焕章
宁瑾
葛永才
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅基电容式微传声器
氧化多孔硅
牺牲层
摘要:
提出了一种新的工艺方法制备硅基电容式微传声器.用氧化多孔硅作牺牲层制备空气隙,用约15μm厚的浓硼掺杂硅作为微传声器的刚性背极板.采用该方法制备的微传声器,在500Hz至11kHz的工作频率下,灵敏度范围为-55dB(1.78mV/Pa)到-45dB(5.6mV/Pa),随着频率的升高,灵敏度呈上升趋势,截止频率超过20kHz.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
硅基电容式微传声器
多孔硅
牺牲层
聚酰亚胺
传声器的选择和使用
传声器
声源
音频信号传输
频率范围
电容式微传声器的制备研究新进展
电容式微传声器
MEMS工艺
加速度对传声器影响的逆用分贝叠加修正
压电传声器
逆用声叠加原理
声压加速度修正
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
用氧化多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
来源期刊
半导体学报
学科
工学
关键词
硅基电容式微传声器
氧化多孔硅
牺牲层
年,卷(期)
2003,(5)
所属期刊栏目
研究快报
研究方向
页码范围
449-453
页数
5页
分类号
TN402
字数
923字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-4177.2003.05.001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘焕章
中国科学院半导体研究所微电子中心
71
1282
19.0
34.0
2
刘忠立
中国科学院半导体研究所微电子中心
77
412
12.0
14.0
3
宁瑾
中国科学院半导体研究所微电子中心
13
44
4.0
6.0
4
葛永才
中国科学院半导体研究所微电子中心
5
17
3.0
4.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(2)
共引文献
(17)
参考文献
(4)
节点文献
引证文献
(3)
同被引文献
(8)
二级引证文献
(0)
1996(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2000(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
2001(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2003(1)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2003(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2017(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅基电容式微传声器
氧化多孔硅
牺牲层
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
主办单位:
中国电子学会和中国科学院半导体研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-4926
CN:
11-5781/TN
开本:
大16开
出版地:
北京912信箱
邮发代号:
2-184
创刊时间:
1980
语种:
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
35317
期刊文献
相关文献
1.
用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器
2.
传声器的选择和使用
3.
电容式微传声器的制备研究新进展
4.
加速度对传声器影响的逆用分贝叠加修正
5.
传声器的技术特性与种类
6.
传声器阵列校准技术研究
7.
任意构型传声器阵列声源定位方法
8.
热集成的贵金属催化多孔硅微反应器元件的制备
9.
硅微电容传声器的防粘连结构
10.
电容式微传声器的性能模拟与优化设计
11.
基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究
12.
多孔硅电学特性研究
13.
用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究
14.
纳米多孔硅的制备及其性能研究
15.
电偶腐蚀法制备多孔硅的研究
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
半导体学报(英文版)2022
半导体学报(英文版)2021
半导体学报(英文版)2020
半导体学报(英文版)2019
半导体学报(英文版)2018
半导体学报(英文版)2017
半导体学报(英文版)2016
半导体学报(英文版)2015
半导体学报(英文版)2014
半导体学报(英文版)2013
半导体学报(英文版)2012
半导体学报(英文版)2011
半导体学报(英文版)2010
半导体学报(英文版)2009
半导体学报(英文版)2008
半导体学报(英文版)2007
半导体学报(英文版)2006
半导体学报(英文版)2005
半导体学报(英文版)2004
半导体学报(英文版)2003
半导体学报(英文版)2002
半导体学报(英文版)2001
半导体学报(英文版)2000
半导体学报(英文版)2003年第z1期
半导体学报(英文版)2003年第9期
半导体学报(英文版)2003年第8期
半导体学报(英文版)2003年第7期
半导体学报(英文版)2003年第6期
半导体学报(英文版)2003年第5期
半导体学报(英文版)2003年第4期
半导体学报(英文版)2003年第3期
半导体学报(英文版)2003年第2期
半导体学报(英文版)2003年第12期
半导体学报(英文版)2003年第11期
半导体学报(英文版)2003年第10期
半导体学报(英文版)2003年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号