四象限探测器光斑尺寸测量方法的研究

• 作者: 孙峰 张鑫 邓代竹 黄开仁
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 四象限探测器 激光跟踪 光斑测量 位置探测灵敏度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 激光技术与应用
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TN929.1
• 字数: 1463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.01.005

摘要

由于四象限探测器具有低噪声、高灵敏度和高带宽的优势,因此被广泛应用于激光光斑跟踪、准直和位置检测等领域.靶面上的光斑尺寸是影响系统性能的重要参数之一.对探测器的光斑位置探测灵敏度指标Sx进行了分析,比较了象限间沟道大小对Sx的影响关系.提出了一种测量光斑半径的方法,该方法利用电控偏转镜扫描探测器靶面,获得位置探测器灵敏度,基于位置探测灵敏度与光斑半径的对应关系,间接测得光斑尺寸.