高精度光学对准测量装置的设计

• 作者: 刘建红 刘畅 刘绍锦 耿天文
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学对准 测量装置 四维坐标 精度分析
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 467-473
• 分类号: TH741.14
• 字数: 3368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.05.008

摘要

设计了一套光学对准测量装置,该装置主要由面阵CCD相机、光学镜头、图像处理模块、LED红光光源、球面反光镜组成.介绍了测量原理,测量目标采用等腰三角形排列,通过面阵CCD对目标所反射的图像进行采集,由图像处理模块对该图像进行实时处理,能够同时得到X、Y、Z以及旋转角度等四维坐标数据.推导了光斑图像坐标和被测平面距离等计算公式,并进行了对准精度分析.结果表明,该装置位置误差<1mm,角度误差为0.24°,实现了高精度、自动、快速对准测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘畅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	118	1090	17.0	29.0
2	刘绍锦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	14	76	4.0	8.0
3	耿天文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	61	3.0	7.0