多组合设备的调度控制研究综述

• 作者: 伍乃骐 朱清华 滕少华
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 关键词: 半导体制造 多组合设备 调度与控制 调度算法 建模
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1369-1375
• 分类号: TP278
• 语种: 中文

摘要

在半导体芯片制造中越来越广泛使用多组合设备.本文介绍了多组合设备的结构配置、生产运行过程、调度控制问题的一般特征条件、应该满足的约束及周期性调度策略;分析了问题的复杂性因素.从多组合设备的结构特征、运行过程特征两方面分类综述了调度问题的建模、分析方法、调度算法及存在的问题,最后指出了未来的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	滕少华	广东工业大学计算机学院	121	825	15.0	20.0
2	伍乃骐	广东工业大学机电工程学院	77	815	15.0	25.0
3	朱清华	广东工业大学机电工程学院	8	33	4.0	5.0