空气轴承提高气浮系统稳定性的阻尼技术

• 作者: 尤政 张鸣 徐登峰 朱煜 赵冶
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 空气静压轴承 气浮轴承 阻尼 微振动
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TH7
• 字数: 3414字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.01.016

摘要

静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点,是一种优秀的运动导向承栽部件,但是它在承栽方向上阻尼较小,对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢,影响了系统的稳定性和测量准确性.为了解决这个问题,本文以小孔节流空气轴承作为研究对象,在其结构中部增设了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔,当空气轴承振动时,压力空气在上下腔室之间流动,通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉.根据这一构想,首先对新结构通过空气弹簧理论进行了初步优化设计,接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行了冲击响应实验,证实了新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用,同时对微振动有良好的抑制效果,然后通过模态分析软件MEscope得到了空气轴承的阻尼比系数,发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比系数有近一个数量级的提高.另外,还通过实验得到新结构空气轴承可以略微增加轴承的承栽能力和刚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
2	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
3	徐登峰	清华大学精密仪器与机械学系	13	83	5.0	9.0
4	张鸣	清华大学精密仪器与机械学系	31	335	10.0	17.0
5	赵冶	清华大学精密仪器与机械学系	3	44	3.0	3.0