有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用

• 作者: 卢继奎 杨芳 郝永平
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: MEMS Coventor Ware 温度 冲击
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 83-87
• 分类号: TH824.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2010.02.020

摘要

针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值,引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析.利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时,封装结构变形对其性能的影响.分析结果表明,温度和冲击作用于压阻式传感器封装结构对传感器的性能影响很小,均在万分之一数量级,与前人的试验结果吻合.