光栅辅助的表面波传感器研究

• 作者: 刘宏伟 於丰 王春霞 许兴胜 阚强 陈弘达
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 表面波 传感器 角度灵敏度 带隙
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 100-104
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 1773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2010.01.017

摘要

采用严格耦合波方法研究了普通棱镜耦合的表面波传感器与光栅辅助的表面波传感器的传感特性.设计了工作在1550 nm处的一维光子晶体与光栅的材料参数与结构参数.光栅的深度为20 nm,周期为524.6 nm,占空比为0.5.模拟计算表明,光栅的引入导致双共振峰的出现,表面波的模式出现分裂.当外界折射率变化时,两个共振峰向相反的方向移动.利用双共振峰的这种特性进行传感,可以使光栅辅助表面波传感器的角度灵敏度提高到普通棱镜结构表面波传感器的3倍以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春霞	中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室	50	2117	21.0	46.0
2	陈弘达	中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室	82	341	10.0	13.0
3	刘宏伟	中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室	48	428	11.0	19.0
4	阚强	中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室	11	44	4.0	6.0
5	许兴胜	中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室	22	122	6.0	10.0
6	於丰	中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室	1	2	1.0	1.0